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超精確的傳感器可能導(dǎo)致生產(chǎn)甚至更小的芯片
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2020/10/10

電氣工程師Stefanos Andreou建造了一種傳感器,其精確度小于原子大小。


為了使計(jì)算機(jī)速度更快,您需要更小的芯片。出生于塞浦路斯的博士生斯特凡諾斯·安德魯(Stefanos Andreou)建造了一個(gè)傳感器,可以測(cè)量小于原子寬度的形變。芯片機(jī)械制造商ASML也許可以使用這項(xiàng)技術(shù)來提高其機(jī)器的精度。


使用ASML的最新機(jī)器,可以生產(chǎn)出計(jì)算機(jī)芯片,其細(xì)節(jié)尺寸不超過幾納米。當(dāng)您考慮到一毫米內(nèi)可以容納一百萬納米時(shí),這絕對(duì)不是成就。像這樣的芯片上的電路是使用光刻技術(shù)產(chǎn)生的:借助紫外線將圖案蝕刻到硅片上。由于芯片生產(chǎn)需要在彼此之上堆疊多個(gè)圖案,因此硅片(更好地稱為晶圓)的定位非常精確。


博士候選人史蒂芬諾斯·安德魯(Stefanos Andreou)解釋說,即使是最輕微的晶片變形也會(huì)引起問題!斑@些晶片實(shí)際上非常堅(jiān)硬,但是由于它們以如此高的速度移動(dòng),它們受到重力的作用使它們略微變形。對(duì)這種變形的測(cè)量使ASML有機(jī)會(huì)以某種或其他方式對(duì)其進(jìn)行補(bǔ)償,然后打開增加了生產(chǎn)甚至更小的芯片的可能性。” 這促使塞浦路斯人奉獻(xiàn)他的博士學(xué)位。致力于設(shè)計(jì)一種基于玻璃纖維的特殊傳感器,該傳感器能夠測(cè)量每米大約1納米的變形。


非凡的準(zhǔn)確性

這種超高精度傳感器的原理是,可以以非常高的精度測(cè)量激光頻率的偏差(一種被稱為“光纖布拉格光柵”的原理),對(duì)玻璃纖維的處理方式如下:對(duì)于非常特定的顏色(讀。侯l率)的光變得不透明。這個(gè)諧振頻率,因?yàn)樗环Q為依賴于到其中纖維被拉伸的程度。


因此,安德魯解釋說,將光纖布拉格光柵(FBG)應(yīng)用于切屑機(jī)中的運(yùn)動(dòng)部件,可以用來衡量晶片的變形。在碩士生Roel van der Zon的協(xié)助下,他本人現(xiàn)在是一名博士學(xué)位。在瓦倫西亞的候選人中,安德烈(Andreou)在實(shí)驗(yàn)室中測(cè)試了基于這種FBG傳感器的測(cè)量系統(tǒng)!皩(shí)際上,ASML需要數(shù)十個(gè)這樣的傳感器,但這沒問題:它們可以廉價(jià)地生產(chǎn)并且?guī)缀鯖]有重量!


這位博士候選人渴望指出,他們達(dá)到的每米5納米的精度意味著在傳感器本身(長(zhǎng)度只有幾厘米)中,可以測(cè)量幾十個(gè)皮克的變形。“那比原子的直徑還。  然而,在達(dá)到這種不可能的準(zhǔn)確性之前,必須解決許多問題。


溫度

首先,需要先進(jìn)的穩(wěn)定技術(shù)來確保由安德烈(Andreou)進(jìn)行研究的光子集成研究小組的子公司Smart Photonics生產(chǎn)的光子芯片產(chǎn)生的激光具有正確的頻率。但是也許最大的挑戰(zhàn)是這樣一個(gè)事實(shí),即傳感器的共振頻率不僅取決于變形,還取決于溫度。“這種影響實(shí)際上要大得多,”安德烈(Andreou)解釋說!爱(dāng)溫度變化千分之一攝氏度時(shí),將導(dǎo)致測(cè)量偏差,相當(dāng)于每米變形十納米!


為了補(bǔ)償不可避免的溫度波動(dòng),安德烈(Andreou)將用于測(cè)量的激光分為兩個(gè)分量:“對(duì)于每個(gè)分量或偏振態(tài),光纖在溫度和諧振頻率之間顯示出不同的關(guān)系! 這消除了溫度的影響,從而可以非常精確地確定變形。據(jù)該博士生說,其準(zhǔn)確度是過去的十倍!耙坏┫到y(tǒng)得到充分優(yōu)化,就應(yīng)該可以對(duì)此進(jìn)行改進(jìn)!


但是,塞浦路斯人本人不再專注于這一挑戰(zhàn)。他現(xiàn)在是代爾夫特理工大學(xué)的博士后! ASML提供了我項(xiàng)目中使用的一些設(shè)備,現(xiàn)在正在進(jìn)行ASML的后續(xù)項(xiàng)目。因此,我的工作正在繼續(xù)進(jìn)行!


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