傳感器技術(shù)

　　(1)MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝：深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝；封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝、多芯片組裝工藝；新型傳感器：如用微硅電容傳感器、微硅質(zhì)量流量傳感器、航空航天用動(dòng)態(tài)傳感器、微傳感器，汽車專用壓力、加速度傳感器，環(huán)保用微化學(xué)傳感器等。

　　(2)集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝；工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器，如：壓力、靜壓、溫度三變量傳感器、氣壓、風(fēng)力、溫度、濕度四變量傳感器，微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器，陳列傳感器。

　　(3)智能化技術(shù)與智能傳感器信號(hào)有線或無線探測、變換處理、邏輯判斷、功能計(jì)算、雙向通訊、自診斷等智能化技術(shù)；智能多變量傳感器，智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器。

　　(4)網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器，使傳感器具有工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)接口和協(xié)議功能。

　　儀表元器件

　　(1)彈性元件開發(fā)和完善新型成型工藝：電沉積成型工藝，焊接成型工藝；重點(diǎn)開發(fā)航空、航天用的低剛度、大位移、長壽命的微小型精密波紋管，高溫高壓閥用波紋管；研制波紋管高效成型工藝設(shè)備和性能檢測儀器。

　　(2)光學(xué)元件開發(fā)先進(jìn)工藝：非球面光學(xué)元件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)、光學(xué)多層測射鍍膜技術(shù)和新型離子輔助鍍膜技術(shù)。

　　開發(fā)光纖通訊和數(shù)字成像用新型光學(xué)元件。如：微型變密度濾光片、超窄帶濾光片，微透鏡陣列、大面積偏振元件、非球面玻-塑混合透鏡。

　　(3)專用電路提高專用電路集成度和個(gè)性化服務(wù)的設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝；

　　應(yīng)用軟件固化技術(shù)，開發(fā)適合智能化、網(wǎng)絡(luò)化傳感器和儀表的信號(hào)變換、補(bǔ)償、線性化、通訊、網(wǎng)絡(luò)接口等專用電路。

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